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武漢市東湖新技術開發區光谷科技港1棟B座6層6134室
地址:武漢市東湖新技術開發區光谷科技港1棟B座6層6134室
電話:(微信同號)

型號:JW-A6
旋涂尺寸范圍:φ10-φ150
價格:28000(含1%普票)
型號: JW-A6
1. 可載基片尺寸:φ20-φ150mm 圓片 或最大150*150mm方片
2. 盆腔直徑:350mm 材質為PE高分子,耐腐蝕
3. 標配二種真空吸盤(φ20mm至φ150mm任選) 可按需定制,最大可旋6寸基片
4. 最大轉速:≤12000RPM
5 .轉速精準度:<±1RPM
6. 減速可調范圍:1000-3000RPM
7. 最大加速度:≤30000RPM/S
8. 轉速分辨率:1RPM
9. .最大旋轉時間:≤4000S
10. 可編程10組10步程序
11.標配:無油真空泵,真空輸入:0.06-0.09Mpa, 真空流量最小15L/Min
12.真空接口:設備后面板出口外徑6mm
13.電源輸入: 220V 250W
14.可實時顯示負壓值
15.標配7寸高清觸屏
16.裝有真空吸附和程序啟動實體按鈕。
17. 配有旋涂啟動和真空吸附同步系統
武漢市東湖新技術開發區光谷科技港1棟B座6層6134室
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