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武漢市東湖新技術開發區光谷科技港1棟B座6層(ceng)6134室(shi)
地址:武漢市東湖新(xin)技術開發(fa)區光谷(gu)科技港1棟B座6層6134室
電話:(微信同號)

型號:JW-A6
旋(xuan)涂尺寸(cun)范圍(wei):φ10-φ150
價格(ge):28000(含(han)1%普票(piao))
型號: JW-A6
1. 可(ke)載基片尺寸:φ20-φ150mm 圓片 或(huo)最大150*150mm方片
2. 盆腔直徑:350mm 材質(zhi)為PE高分子,耐腐(fu)蝕(shi)
3. 標配二(er)種真空吸盤(φ20mm至(zhi)φ150mm任(ren)選(xuan)) 可(ke)按(an)需定制(zhi),最(zui)大可(ke)旋6寸基片
4. 最大轉速:≤12000RPM
5 .轉速精(jing)準度:<±1RPM
6. 減(jian)速(su)可調范圍:1000-3000RPM
7. 最(zui)大(da)加(jia)速(su)度:≤30000RPM/S
8. 轉速分辨率:1RPM
9. .最大旋轉時間(jian):≤4000S
10. 可編程10組(zu)10步(bu)程序
11.標配(pei):無油真空(kong)泵,真空(kong)輸入:0.06-0.09Mpa, 真空(kong)流量(liang)最小15L/Min
12.真(zhen)空接口:設備后(hou)面板出口外徑6mm
13.電源(yuan)輸入: 220V 250W
14.可(ke)實時顯示負(fu)壓值
15.標配(pei)7寸高清觸(chu)屏
16.裝有真(zhen)空吸附和程序啟動實體按鈕。
17. 配有旋涂啟(qi)動和真空吸(xi)附同(tong)步(bu)系統
武漢市東湖新技術開發區光谷科技港1棟B座6層(ceng)6134室(shi)
(微信同號)